上海微电子光刻机黑科技 上海微电子光刻机:黑科技揭秘
上海微电子光刻机:黑科技揭秘 在当今科技日新月异的时代,光刻技术已经成为了微电子制造中最重要的工艺之一。而在光刻机技术领域,上海微电子光刻机无疑是一款非常出色的产品。它不仅具有高精度、高速度、高可靠性等优点,还拥有着许多黑科技,让人们大开眼界,今天我们就来揭秘上海微电子光刻机的黑科技。 黑科技一:双光束技术 在传统的单光束光刻机中,只有一束光线从光刻机中射出,进行曝光。而上海微电子光刻机采用了双光束技术,即在曝光时同时使用两束光线进行曝光,这种技术可以大大提高曝光速度,同时还能够提高曝光的精度